还原氢,氢还原的具体工艺流程是怎样的？
氢还原反应是在还原炉内进行的,反应后得到的多晶硅是沉积在硅棒上的。由于还原炉受硅棒的大小和数量限制,受设备材料限制,也受电气设备限制,无法造得太大,所以每台还原炉的产量有限,不能满足需要。因此,每个多晶硅还原车间都有多台还原炉。还原炉底有为硅棒加热的电极;有为电极供电的电缆,有为还原炉供原料还原氢、排放尾气的管道,有为...
氢还原反应是在还原炉内进行的,反应后得到的多晶硅是沉积在硅棒上的。由于还原炉受硅棒的大小和数量限制,受设备材料限制,也受电气设备限制,无法造得太 大,所以每台还原炉的产量有限,不能满足需要。因此,每个多晶硅还原车间都有多台还原 炉。还原炉底有为硅棒加热的电极;有为电极供电的电缆,有为还原炉供原料还原氢、排放尾气的管 道,有为炉底降温的管道等许多管线。还原工序不止是还原炉一种设备,而是由很多设备、仪器、仪表及电器等组成的一个复杂 的系统。为了清楚起见,先将电器去掉,单独来看一台炉的氢还原工艺管路。
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